イオン窒化(プラズマ窒化)の歴史

 イオン窒化処理は古くから研究されてきました。

 1932年、ドイツのBernhard Berghausが、グロー放電を用いたイオン窒化法を発明しました。これは低圧にした容器内にNガスまたはNHガスを入れて放電させるものであり、電離した気体中における窒化処理が有利であることが見いだされたことによってはじまりました。

 しかし発明後、実用化時期が第2次大戦前にかかり、ドイツの長距離砲の砲身内面の窒化処理に応用されるなどの軍事目的もあって秘匿されていたといわれ、また、エレクトロニクスのみならず、その他の関連周辺技術が現在ほど進化していなかったこともあって、一般には知られる機会がありませんでした。日本にこの方法が知られるようになったのは、西ドイツのKlcckner Ionon社がNSUのロータリーエンジン部品に応用し実用化して成果を上げている情報が入ってから、国内自動車メーカーが関心を持ったことと、プラスチックのエクストルーダー、シリンダーなどに応用されているのを知ったことによるといわれています。