グロー放電による窒化では、穴の中及びスリット内部まで窒化することができる。４ｍｍ程度から１５ｍｍ位までの穴径及びＧａｐでは、グロー放電のホロー、カソート現象といって対向面のある場合、互いにグローを高め合い、その内部に強いグローを生じさせ、平面の窒化より若干深く窒化することができる。この現象はＧａｐとガス圧とに深い相対関係があり、Ｇａｐに合ったガス圧を選定することによって、最高のこの効果を期待することができ、狭くするほど効果は大きいが、０．８ｍｍ程度以下となると、逆にグロー放電が中に入りにくくなり、窒化が行われなくなる。以上の様なスリット部又は穴の中の窒化等は、アルミの押出し金型部品等に使用され成果をあげている。